(19) 대한민국특허청(KR)
(12) 등록특허공보(B1)
(45) 공고일자 2012년01월13일
(11) 등록번호 10-1105468
(24) 등록일자 2012년01월05일
(51) Int. Cl.

B41F 13/08 (2006.01) G02F 1/13 (2006.01)
(21) 출원번호 10-2007-0084503
(22) 출원일자 2007년08월22일
심사청구일자 2009년07월24일
(65) 공개번호 10-2009-0020076
(43) 공개일자 2009년02월26일
(56) 선행기술조사문헌
JP2004178915 A
KR2019830000483 Y1
JP2002036508 A
JP2002120350 A
(73) 특허권자
주식회사 엘지화학
서울특별시 영등포구 여의대로 128 (여의도동)
(72) 발명자
신동명
대전광역시 유성구 대덕대로603번길 20, 6동 201
호 (도룡동, LG화학사원아파트)
김대현
대전광역시 유성구 전민로 71, 102동 402호 (전민
동, 삼성푸른아파트)
(뒷면에 계속)
(74) 대리인
정순성
전체 청구항 수 : 총 9 항 심사관 : 조춘근
(54) 롤 프린팅 장치용 인쇄롤
(57) 요 약
본 발명은, 롤 프린팅 장치를 이용하여 패턴을 형성하고자 하는 경우에 사용되는 롤 프린팅 장치용 인쇄롤로서,
중앙영역에서 양 단부영역으로 갈수록 단면적이 작아지는 형태를 갖는 롤 프린팅 장치용 인쇄롤을 제공한다.
대 표 도 - 도1
등록특허 10-1105468
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(72) 발명자
송호경
대전광역시 유성구 배울1로 13, 207동 904호 (관평
동, 대덕테크노밸리2단지아파트)
김지수
부산광역시 해운대구 달맞이길117번나길 111, 달맞
이언덕 (중동, 추리문학관)
임민영
경기 성남시 중원구 하대원동 자이아파트 106동
1402호
등록특허 10-1105468
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특허청구의 범위
청구항 1
롤 프린팅 장치용 인쇄롤로서, 중앙영역에서 양 단부영역으로 갈수록 단면적이 작아지는 형태를 가지며, 상기
양 단부영역에는 복수의 관통홀이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 롤 프린팅 장치용 인쇄롤.
청구항 2
청구항 1에 있어서, 상기 중앙영역은 원형 단면을 갖는 원통형의 인쇄부이고, 상기 양 단부영역은 상기 인쇄부
를 기준으로 상기 인쇄부의 양측에 위치한 한 쌍의 비인쇄부이며,
상기 한 쌍의 비인쇄부는 상기 인쇄부에서 각각 말단으로 갈수록 단면적이 작아지는 형태를 갖는 것을 특징으로
하는 롤 프린팅 장치용 인쇄롤.
청구항 3
청구항 2에 있어서, 상기 한 쌍의 비인쇄부는 각각 깔대기 단면형상을 갖는 것을 특징으로 하는 롤 프린팅 장치
용 인쇄롤.
청구항 4
청구항 2에 있어서, 상기 한 쌍의 비인쇄부는 각각 상기 인쇄부의 판면을 기준으로 60도 이상 90도 미만의 경사
각도로 경사진 경사면을 갖는 것을 특징으로 하는 롤 프린팅 장치용 인쇄롤.
청구항 5
청구항 2에 있어서, 상기 한 쌍의 비인쇄부는 각각의 말단에 위치한 인쇄롤 회전축을 포함하는 것을 특징으로
하는 롤 프린팅 장치용 인쇄롤.
청구항 6
삭제
청구항 7
청구항 1에 있어서, 상기 복수의 관통홀은 각각 타원형 단면형상을 갖는 것을 특징으로 하는 롤 프린팅 장치용
인쇄롤.
청구항 8
청구항 1에 있어서, 상기 중앙영역에 설치되는 무게중심추를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 롤 프린팅 장치용
인쇄롤.
청구항 9
청구항 8에 있어서, 상기 중앙영역 중 상기 무게중심추가 설치되는 영역에는, 상기 중앙영역의 외표면에 감기는
블랑킷을 고정하는 블랑킷 고정 홀더가 설치되며,
상기 블랑킷 고정 홀더는 상기 무게중심추에 의해 커버되는 것을 특징으로 하는 롤 프린팅 장치용 인쇄롤.
청구항 10
청구항 8에 있어서, 상기 중앙영역 중 상기 무게중심추가 설치되는 영역에는, 상기 중앙영역의 외표면에 감기는
블랑킷을 긴장시키는 블랑킷 조임부 및 상기 블랑킷의 긴장상태를 조절하는 블랑킷 조임 조절부가 설치되며,
상기 블랑킷 조임부 및 상기 블랑킷 조임 조절부는 상기 무게중심추에 의해 커버되는 것을 특징으로 하는 롤 프
린팅 장치용 인쇄롤.
명 세 서
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발명의 상세한 설명
기 술 분 야
본 발명은 롤 프린팅 방식에 의해 패턴을 형성하고자 하는 경우에 사용되는 롤 프린팅 장치용 인쇄롤에 관한 것[0001]
이다.
배 경 기 술
일반적으로, 반도체 회로소자; LCD(Liquid Crystal Display) 및 PDP(Plasma Display Panel) 등의 디스플레이장[0002]
치에 사용되는 미세패턴은 포토레지스트(Photoresist)를 이용한 포토리소그래피(Photolithography)법에 의해 형
성되는데, 대체로 코팅, 노광, 현상, 세정, 및 경화의 단계를 거쳐 제조된다.
포토리소그래피법은 원하는 패턴을 정밀하게 얻을 수 있다는 장점이 있으나, 많은 단계의 공정을 거쳐야 하고,[0003]
포토레지스트의 효과를 극대화하기 위해 많은 종류의 재료들을 사용해야 하며, 코팅 등의 공정에서 많은 양의
포토레지스트가 소모된다는 단점이 있다.
최근에는 이러한 포토리소그래피법의 문제점을 해결하기 위해 롤 프린팅 방식에 의해 미세패턴을 얻는 기술이[0004]
제안되어 연구개발되고 있는 실정이다.
패턴 형성을 위한 롤 프린팅 장치는, 옵셋 인쇄, 반전 옵셋 인쇄, 및 롤-투-롤(roll-to-roll) 인쇄 방식에 다양[0005]
하게 적용 가능하며, 컬러 필터의 구성 요소인 R(Red), G(Green), B(Blue)의 컬러 패턴 및 BM(Black Matrix)
패턴뿐만 아니라, TFT(Thin Film Transistor) 및 PDP의 전극 형성용 패턴과 격벽 재료의 패턴 전사 등에 광범위
하게 적용 가능하다.
롤 프린팅 장치는 코터, 원통형상의 인쇄롤, 인쇄롤 구동 장치, 클리쉐 또는 기판 스테이지와 스테이지 얼라인[0006]
을 위한 구동 장치를 기본적인 구성으로 하며, 이에 더하여 클리쉐 및/또는 배관 세정장치, 블랑킷에 흡수된 용
제를 흡수하여 블랑킷을 건조시키기 위한 건조 장치, 및 각종 센서 장치 등을 부가적으로 더 포함할 수 있다.
롤 프린팅 방식에 의해 형성되는 패턴의 정밀도 및 패턴 전사효율은 코터로부터 인쇄롤 혹은 인쇄롤에 감긴 블[0007]
랑킷으로의 코팅 상태, 코팅 후 클리쉐 혹은 기판으로 전사되기 전까지의 용제의 휘발 정도와 대기시간, 및 전
사되는 동안의 스테이지와 인쇄롤 혹은 블랑킷 간의 간격에 의해 형성되는 인압 등의 공정 조건에 의존할 수 있
다.
특히, 롤 프린팅 공정의 첫 단계인 인쇄롤 혹은 인쇄롤에 감긴 블랑킷으로의 코팅 시, 그 코팅 상태에 따라, 전[0008]
체 패턴의 균일성(uniformity) 뿐만 아니라 여러 가지 형태의 얼룩 형성 여부가 결정된다.
이를 조절하기 위해 코터에 장착된 펌프의 종류, 펌핑압, 및 속도; 코팅물의 점도 및 유변학적 특성과 표면 특[0009]
성 등의 조절; 및 코터 노즐과 인쇄롤 또는 블랑킷 표면 간의 간격 조절 등을 통해 어느 정도 개선할 수 있다.
발명의 내용
해결 하고자하는 과제
그러나, 전체 패턴의 균일성을 향상시키고, 여러 가지 형태의 얼룩 형성을 방지하기 위해서는, 근본적으로는 인[0010]
쇄롤의 구동을 위한 구동 모터에서 발생되는 진동, 인쇄롤의 회전 시 발생하는 인쇄롤 자체 진동, 및 인쇄롤 표
면의 균일성 문제를 해결하는 것이 중요하다.
또한, 인쇄롤에 블랑킷을 장착하는 경우, 블랑킷 홀더 부위에서의 무게 차에 의한 무게 중심의 불균형에 의해[0011]
인쇄롤의 회전이 원활하게 이루어지지 않을 수 있고, 이로 인해 패턴 균일성이 저하되고, 여러 가지 형태의 얼
룩이 형성될 수 있다.
또한, 롤 프린팅 장치의 대형화로 큰 크기의 인쇄롤을 사용하는 경우, 인쇄롤 자체의 중량에 의해 인쇄롤의 휨[0012]
이 발생할 수 있고, 이로 인해 코터로부터 인쇄롤 또는 코터로부터 인쇄롤의 블랑킷으로 코팅물을 코팅할 때,
인쇄롤 또는 인쇄롤의 블랑킷에 코팅물이 균일하게 코팅되지 않아, 패턴 균일성이 저하되고, 여러 가지 형태의
얼룩이 형성될 수 있다.
따라서, 본 발명은, 롤 프린팅 장치를 이용하여 패턴을 형성하고자 하는 경우에 사용되는 롤 프린팅 장치용 인[0013]
쇄롤로서, 인쇄롤의 구동을 위한 구동 모터에서 발생되는 진동, 및 인쇄롤의 회전 시 발생하는 인쇄롤 자체 진
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동을 최소화하고, 인쇄롤의 표면을 균일하게 유지할 수 있는 롤 프린팅 장치용 인쇄롤을 제공하는 것을 목적으
로 한다.
또한, 롤 프린팅 장치용 인쇄롤에 무게중심을 맞추어 인쇄롤이 원활히 회전할 수 있도록 함으로써, 인쇄롤의 회[0014]
전 시 무게 중심의 불균형에 의한 회전 진동을 최소화할 수 있는 롤 프린팅 장치용 인쇄롤을 제공하는 것을 목
적으로 한다.
또한, 롤 프린팅 장치용 인쇄롤의 중량을 최대한 줄임으로써, 인쇄롤 자체의 중량에 의한 휨 문제를 해결할 수[0015]
있는 롤 프린팅 장치용 인쇄롤을 제공하는 것을 목적으로 한다.
과제 해결수단
본 발명은, 롤 프린팅 장치용 인쇄롤로서, 중앙영역에서 양 단부영역으로 갈수록 단면적이 작아지는 형태를 갖[0016]
는 것을 특징으로 하는 롤 프린팅 장치용 인쇄롤을 제공한다.
효 과
본 발명에 따르면, 인쇄롤의 구동을 위한 구동 모터에서 발생되는 진동, 및 인쇄롤의 회전 시 발생하는 인쇄롤[0017]
자체 진동을 최소화하고, 인쇄롤의 표면을 균일하게 유지할 수 있는 롤 프린팅 장치용 인쇄롤이 제공된다.
또한, 인쇄롤에 무게중심추를 장착하는 경우, 인쇄롤의 무게중심이 잘 맞게 되어, 인쇄롤이 원활히 회전할 수[0018]
있게 됨에 따라, 인쇄롤 회전 시 무게 중심의 불균형에 의한 회전 진동을 최소화할 수 있는 롤 프린팅 장치용
인쇄롤이 제공된다.
또한, 인쇄롤에 관통홀을 형성하여 인쇄롤을 가볍게 하는 경우, 인쇄롤 자체의 중량에 의한 휨 문제를 해결할[0019]
수 있는 롤 프린팅 장치용 인쇄롤이 제공된다.
발명의 실시를 위한 구체적인 내용
본 발명에 따른 롤 프린팅 장치용 인쇄롤은, 중앙영역에서 양 단부영역으로 갈수록 단면적이 작아지는 형태를[0020]
갖는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 롤 프린팅 장치용 인쇄롤은, 표면이 전해연마(electrolytic polishing) 처리된 정밀기계 가공용[0021]
스테인리스 스틸(stainless steel)로 제조될 수 있다.
예로는 SUS304 스테인리스 스틸, SUS305 스테인리스 스틸, 또는 SUS316 스테인리스 스틸 표면을 전해연마 처리[0022]
한 것을 사용하여 인쇄롤을 제조할 수 있다. 스테인리스 스틸의 표면을 니켈과 같은 금속원소로 표면 처리하게
되면, 스테인리스 스틸의 부식 및 산화를 방지할 수 있다.
여기서, 본 발명에 따른 롤 프린팅 장치용 인쇄롤은, 상기 중앙영역에 해당하며 원형 단면을 갖는 원통형의 인[0023]
쇄부; 및 상기 양 단부영역에 해당하며 상기 인쇄부를 기준으로 상기 인쇄부의 양측에 위치한 한 쌍의 비인쇄부
를 포함한다. 그리고, 롤 프린팅 장치용 인쇄롤의 회전을 위해, 상기 한 쌍의 비인쇄부 각각의 말단에 위치한
인쇄롤 회전축을 더 포함할 수 있다.
상기 인쇄부는 원형 단면을 갖는 내부가 빈 원통형상일 수도 있고, 내부가 채워진 형태일 수도 있다.[0024]
상기 한 쌍의 비인쇄부는 상기 인쇄부에서 각각 말단으로 갈수록 단면적이 작아지는 형태를 갖는다.[0025]
상기 한 쌍의 비인쇄부는, 상기 인쇄부를 기준으로 상기 인쇄부의 양측에서 각각 말단으로 갈수록 단면적이 작[0026]
아지도록, 각각 깔대기 단면형상을 가질 수 있다(도 1 참조).
상기 한 쌍의 비인쇄부는 각각 상기 인쇄부의 판면을 기준으로 60도 이상 90도 미만의 경사각도로 경사진 경사[0027]
면을 가질 수 있다.
상기 깔대기 단면형상을 갖는 비인쇄부의 경우, 비인쇄부 경사면의 경사각도, 즉 깔대기 단면형상의[0028]
절곡각도는, 물리학적인 운동량인 토크(torque)가 최대가 되는 값이 되어야 하며, 그 물리식은 다음과 같다.
[식 1][0029]
τ(torque) = r(인쇄롤의 반경) × F(인쇄롤이 굴러가는 힘, 마력) × sinθ(절삭각도)[0030]
이에, 상기 식 1에 따르면, 깔대기 단면형상의 절삭각도는 토크가 최대가 되는 60도 이상 90도 미만인 것이 바[0031]
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람직하다.
이에, 중앙영역의 종단면적 및 양 단부영역의 종단면적이 동일한 원통형상의 종래 인쇄롤과는 달리, 본 발명에[0032]
따른 롤 프린팅 장치용 인쇄롤의 경우, 인쇄롤의 구동을 위한 구동 모터에서 발생되는 진동, 및 인쇄롤의 회전
시 발생하는 인쇄롤 자체 진동을 최소화할 수 있고, 인쇄롤의 표면을 균일하게 유지할 수 있게 된다.
한편, 본 발명에 따른 롤 프린팅 장치용 인쇄롤에, 롤 프린팅 장치용 인쇄롤의 자체 중량을 줄이기 위해, 복수[0033]
의 관통홀을 형성할 수 있다.
본 발명에 따른 롤 프린팅 장치용 인쇄롤의 양 단부영역에 해당하는 한 쌍의 비인쇄부의 각 판면을 관통하도록,[0034]
상기 복수의 관통홀을 형성할 수 있다.
이와 같이, 본 발명에 따른 롤 프린팅 장치용 인쇄롤에 복수의 관통홀을 만들어 최대한 중량을 가볍게 만드는[0035]
경우, 인쇄롤 자체의 중량에 의한 휨 문제를 해결할 수 있다. 이에 인쇄롤 또는 인쇄롤의 블랑킷에 코팅물이 균
일하게 코팅됨에 따라, 패턴 균일성을 향상시킬 수 있고, 얼룩이 형성되는 것을 방지할 수 있다.
상기 복수의 관통홀은 각각 타원형 단면형상을 가질 수 있다. 그리고, 상기 롤 프린팅 장치용 인쇄롤의 길이방[0036]
향을 따라 상기 타원형 단면형상을 갖는 관통홀의 긴 가로 지름이 위치하도록, 관통홀을 형성할 수 있다. 이에
인쇄롤 자체의 중량에 의한 휨 문제를 해결할 수 있다.
여기서, 관통홀의 개수, 크기, 및 형태는 이로 한정되는 것은 아니며, 롤 프린팅 장치용 인쇄롤의 모양이 변형[0037]
되지 않는 범위 및 인쇄롤의 진동이 발생하지 않는 범위 내에서 다양하게 구현할 수 있다.
본 발명에 따른 롤 프린팅 장치용 인쇄롤은, 상기 중앙영역에 해당하는 상기 인쇄부에 설치되어, 롤 프린팅 장[0038]
치용 인쇄롤의 무게 중심을 맞추는 무게중심추를 더 포함할 수 있다. 이에 의해 인쇄롤의 회전 시 무게 중심의
불균형에 의한 회전 진동을 최소화할 수 있다.
여기서, 상기 무게중심추는 상기 롤 프린팅 장치용 인쇄롤의 인쇄부 상부영역에 설치되어 있을 수 있다.[0039]
상기 무게중심추의 무게는 롤 프린팅 장치용 인쇄롤의 회전 시 무게 중심이 어느 특정 방향으로 쏠리지 않는 범[0040]
위에서 결정된다.
상기 중앙영역에 해당하는 상기 인쇄부 중 상기 무게중심추가 설치되는 영역에는, 상기 중앙영역의 외표면에 감[0041]
기는 블랑킷을 고정하는 블랑킷 고정 홀더가 설치될 수 있다.
상기 블랑킷 고정 홀더는 한 쌍으로 구비되어 상호 이격배치되어 있을 수 있다. 상기 한 쌍의 블랑킷 고정 홀더[0042]
중 어느 한 블랑킷 고정 홀더의 위치에서 원형 단면을 갖는 원통형 인쇄부의 원 중심까지 연결한 직선 및 다른
한 블랑킷 고정 홀더의 위치에서 원통형 인쇄부의 원 중심까지 연결한 직선이 이루는 각도는 0 초과 60도 이하
인 것이 바람직하다.
상기 블랑킷 고정 홀더를 설치한 다음, 상기 무게중심추를 그 위에 설치하는 경우, 상기 블랑킷 고정 홀더가 상[0043]
기 무게중심추에 의해 가려짐에 따라, 상기 블랑킷 고정 홀더를 외부에서 보이지 않게 커버할 수 있게 된다.
상기 중앙영역에 해당하는 상기 인쇄부 중 상기 무게중심추가 설치되는 영역에는, 상기 중앙영역의 외표면에 감[0044]
기는 블랑킷을 긴장시키는 블랑킷 조임부 및 상기 블랑킷의 긴장상태를 조절하는 블랑킷 조임 조절부가 설치될
수 있다.
상기 블랑킷 조임부는 한 쌍으로 구비되어 상호 이격배치되어 있을 수 있다.[0045]
상기 블랑킷 조임 조절부는 상기 블랑킷 조임부에 설치되는 나사산이 형성된 조절 볼트일 수 있다.[0046]
상기 블랑킷 조임부 및 상기 블랑킷 조임 조절부를 설치한 다음, 상기 무게중심추를 그 위에 설치하는 경우, 상[0047]
기 블랑킷 조임부 및 상기 블랑킷 조임 조절부가 상기 무게중심추에 의해 가려짐에 따라, 상기 블랑킷 조임부
및 상기 블랑킷 조임 조절부를 외부에서 보이지 않게 커버할 수 있게 된다.
이와 같이, 상기 블랑킷 고정 홀더, 상기 블랑킷 조임부, 및 상기 블랑킷 조임 조절부가 설치되어 있음에 따라,[0048]
블랑킷을 본 발명에 따른 롤 프린팅 장치용 인쇄롤의 표면에 밀착되게 감아 이 상태를 단단하게 고정할 수 있게
된다.
이하에서는 첨부도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다.[0049]
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 롤 프린팅 장치용 인쇄롤은, 인쇄롤 본체(1); 인쇄롤 본체[0050]
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(1)의 중앙 상부영역에 결합되는 무게중심추(4)를 포함한다.
인쇄롤 본체(1)는, 원통형상의 인쇄부(1a); 인쇄부(1a)의 양측에 배치되며, 각각 깔대기 단면 형상을 갖는 한[0051]
쌍의 비인쇄부(1b); 및 인쇄롤 본체(1)의 회전을 위한 한 쌍의 인쇄롤 회전축(2)을 포함한다.
각 비인쇄부(1b)에는 타원 단면 형상을 갖는 복수의 관통홀(3)이 형성되어 있다.[0052]
도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 인쇄롤 본체(1)의 인쇄부(1a)의 상부영역 즉, 무게중심추(4)가 설치되는 영[0053]
역에는, 인쇄롤 본체(1)의 외표면에 감기는 블랑킷(8)을 고정하는 한 쌍의 블랑킷 고정 홀더(5); 블랑킷(8)을
긴장시키는 한 쌍의 블랑킷 조임부(6a,6b); 및 블랑킷(8)의 긴장상태를 조절하는 복수의 블랑킷 조임 조절부
(7)가 설치되어 있다.
인쇄롤 본체(1)의 인쇄부(1a)의 표면에 블랑킷(8)을 감은 후, 블랑킷(8)의 네 단부영역 중 두 단부영역을 한 쌍[0054]
의 블랑킷 고정 홀더(5)를 이용하여 고정한다. 블랑킷(8)의 나머지 두 단부영역은 한 쌍의 블랑킷 조임부
(6a,6b)에 물리기 때문에 블랑킷(8)을 일정 긴장도를 가지고 인쇄롤 본체(1)의 인쇄부(1a)에 밀착시킬 수 있게
된다. 그리고, 블랑킷(8)의 긴장상태는 블랑킷 조임 조절부(7)를 이용하여 조절할 수 있다.
이와 같이, 중앙영역에서 양 단부영역으로 갈수록 단면적이 작아지는 형태를 갖는 인쇄롤 본체(1)를 사용하여[0055]
미세 패턴을 형성하는 경우, 인쇄롤의 구동을 위한 구동 모터에서 발생되는 진동, 및 인쇄롤의 회전 시 발생하
는 인쇄롤 자체 진동을 최소화할 수 있고, 인쇄롤의 표면을 균일하게 유지할 수 있게 된다.
한편, 본 발명에 따른 인쇄롤 본체(1)에 코팅된 코팅물의 코팅 균일성과, 이와는 달리 중앙영역의 종단면적과[0056]
양 단부영역의 종단면적이 동일한 원통형상의 종래 인쇄롤의 코팅 균일성은, 도 5 및 도 6의 측정결과를 통해
확인할 수 있다.
도 5 및 도 6에 도시된 결과는 본 발명에 따른 인쇄롤 본체(1) 및 원통형상의 종래 인쇄롤에 슬릿노즐(slit[0057]
nozzle)을 이용하여 포토레지스트를 각각 코팅한 후, 각 인쇄롤의 포토레지스트를 370 × 470mm
2
의 평면글라스
에 각각 전사시켜 얻은 것을 광학용 두께 측정기를 사용하여 10mm 간격으로 두께를 측정한 것이다. 여기서, 인
쇄롤에 코팅된 포토레지스트의 코팅 균일성 정도는 인쇄롤의 진동에 영향을 받게 되며, 인쇄롤에 코팅된 포토레
지스트의 코팅 균일성 정도는 인쇄롤의 포토레지스트를 평면글라스에 전사시킬 때 평면글라스에 그대로 나타나
게 된다.
본 발명에 따른 인쇄롤 본체(1)의 측정결과를 나타낸 도 5 및 원통형상의 종래 인쇄롤의 측정결과를 나타낸 도[0058]
6을 통해, 본 발명에 따른 인쇄롤 본체(1)가 원통형상의 종래 인쇄롤 보다 두께 편차가 작은 것을 알 수 있다.
여기서, 두께 편차의 계산은 370 × 470 mm
2
의 평면글라스에 전사된 포토레지스트 필름의 평균두께를 기준으로
측정된 각각의 두께가 어느 정도 편차가 나는지를 백분율로 계산한 후, 측정된 모든 지점을 이와 같은 방법으로
계산하여 평균을 낸 값이다.
도 5에서 볼 수 있는 바와 같이 본 발명에 따른 인쇄롤 본체(1)의 경우 1.55%로, 종래 인쇄롤의 측정결과에 해[0059]
당하는 도 6의 2.57% 보다 전체적으로 평균두께에 대한 편차가 1.02%정도 작음에 따라, 본 발명에 따른 인쇄롤
본체(1)의 코팅 균일성이 더 우수하다는 것을 알 수 있다.
이처럼, 본 발명에 따른 인쇄롤 본체(1)의 코팅 균일성이 우수함에 따라, 본 발명에 따른 인쇄롤 본체(1)을 사[0060]
용하는 경우 얼룩 없는 깨끗한 미세패턴을 형성할 수 있게 된다.
또한, 본 발명에 따라, 인쇄롤 본체(1)의 인쇄부(1a)에 무게중심추(4)를 장착하는 경우, 인쇄롤 본체(1)의 무게[0061]
중심이 잘 맞게 되어, 인쇄롤 본체(1)가 원활히 회전할 수 있게 됨에 따라, 인쇄롤 본체(1)의 회전 시 무게 중
심의 불균형에 의한 회전 진동을 최소화할 수 있게 된다. 이에 균일하고 얼룩 없는 깨끗한 미세패턴을 형성할
수 있게 된다.
본 발명에 따라, 인쇄롤 본체(1)의 비인쇄부(1b)에 복수의 관통홀(3)을 형성하여 인쇄롤 본체(1)의 중량을 가볍[0062]
게 하는 경우, 인쇄롤 본체(1) 자체의 중량에 의한 휨 문제를 해결할 수 있다. 이에 균일하고 얼룩 없는 깨끗한
미세패턴을 형성할 수 있게 된다.
도면의 간단한 설명
도 1은 본 발명에 따른 롤 프린팅 장치용 인쇄롤의 평면도,[0063]
등록특허 10-1105468
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도 2는 본 발명에 따른 롤 프린팅 장치용 인쇄롤의 측면도 및 단면도,[0064]
도 3은 본 발명에 따른 롤 프린팅 장치용 인쇄롤 본체와 무게중심추의 분해도 및 단면도,[0065]
도 4는 도 3의 블랑킷, 블랑킷 조임부, 및 블랑킷 조임 조절부의 분해 사시도,[0066]
도 5는 본 발명에 따른 롤 프린팅 장치용 인쇄롤을 이용하여 포토레지스트를 평면 글라스에 전사한 후, 광학용[0067]
두께 측정기를 사용하여 10mm 간격으로 두께를 측정한 결과,
도 6은 원통형의 종래 인쇄롤을 이용하여 포토레지스트를 평면 글라스에 전사한 후, 광학용 두께 측정기를 사용[0068]
하여 10mm 간격으로 두께를 측정한 결과이다.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*[0069]
1 : 인쇄롤 본체[0070]
1a : 인쇄부[0071]
1b : 비인쇄부[0072]
2 : 인쇄롤 회전축[0073]
3 : 관통홀[0074]
4 : 무게중심추[0075]
5 : 블랑킷 고정 홀더[0076]
6a, 6b : 블랑킷 조임부[0077]
7 : 블랑킷 조임 조절부[0078]
8 : 블랑킷[0079]
도면
도면1
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도면2
도면3
도면4
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도면5
도면6
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