아몰퍼스 합금 박대 및 그 제조 방법(AMORPHOUS ALLOY RIBBON AND METHOD FOR PRODUCING SAME)
(19) 대한민국특허청(KR)
(12) 공개특허공보(A)
(11) 공개번호 10-2014-0138789
(43) 공개일자 2014년12월04일
(51) 국제특허분류(Int. Cl.)
B22D 11/06 (2006.01) B22D 11/10 (2006.01)
C22C 45/00 (2006.01)
(21) 출원번호 10-2014-7027047
(22) 출원일자(국제) 2013년03월07일
심사청구일자 없음
(85) 번역문제출일자 2014년09월26일
(86) 국제출원번호 PCT/JP2013/056354
(87) 국제공개번호 WO 2013/137117
국제공개일자 2013년09월19일
(30) 우선권주장
JP-P-2012-058715 2012년03월15일 일본(JP)
(71) 출원인
히타치 긴조쿠 가부시키가이샤
일본국 도쿄도 미나토구 시바우라 1쵸메 2반 1고
(72) 발명자
시바사키 히로시
일본 6928601 시마네켄 야스기시 하시마초 1240반
지 2 히타치 긴조쿠 가부시키가이샤 메트그라스
야스기 고오죠오 내
모테기 다카유키
일본 6928601 시마네켄 야스기시 하시마초 1240반
지 2 히타치 긴조쿠 가부시키가이샤 메트그라스
야스기 고오죠오 내
(뒷면에 계속)
(74) 대리인
장수길, 성재동
전체 청구항 수 : 총 10 항
(54) 발명의 명칭 아몰퍼스 합금 박대 및 그 제조 방법
(57) 요 약
본 발명에서는, 합금 용탕이 유통하는 용탕 유로를 갖고 상기 용탕 유로의 일단부가 직사각형의 개구부인 용탕
노즐의 상기 개구부로부터, 회전하는 냉각 롤의 표면에 상기 합금 용탕을 토출하여 아몰퍼스 합금 박대를 제조하
는 공정을 갖고, 상기 용탕 유로의 벽면 중 상기 합금 용탕의 유통 방향 및 상기 개구부의 단변 방향에 대해 평
행한 면 t의 최대 높이 Rz(t)가 10.5㎛ 이하인 아몰퍼스 합금 박대의 제조 방법이 제공된다.
대 표 도 - 도2
공개특허 10-2014-0138789
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(72) 발명자
이타가키 하지메
일본 6928601 시마네켄 야스기시 하시마초 1240반
지 2 히타치 긴조쿠 가부시키가이샤 메트그라스 야
스기 고오죠오 내
스나카와 준
일본 6928601 시마네켄 야스기시 하시마초 1240반
지 2 히타치 긴조쿠 가부시키가이샤 메트그라스 야
스기 고오죠오 내
비젠 요시오
일본 6928601 시마네켄 야스기시 하시마초 1240반
지 2 히타치 긴조쿠 가부시키가이샤 메트그라스 야
스기 고오죠오 내
공개특허 10-2014-0138789
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특허청구의 범위
청구항 1
합금 용탕이 유통하는 용탕 유로를 갖고 상기 용탕 유로의 일단부가 직사각형의 개구부인 용탕 노즐의 상기 개
구부로부터, 회전하는 냉각 롤의 표면에 상기 합금 용탕을 토출하여 아몰퍼스 합금 박대를 제조하는 공정을 갖
고,
상기 용탕 유로의 벽면 중 상기 합금 용탕의 유통 방향 및 상기 개구부의 단변 방향에 대해 평행한 면 t의 최대
높이 Rz(t)가 10.5㎛ 이하인, 아몰퍼스 합금 박대의 제조 방법.
청구항 2
제1항에 있어서, 상기 아몰퍼스 합금 박대를 제조하는 공정은, 주속 10m/s∼40m/s로 회전하는 상기 냉각 롤의
표면에 상기 합금 용탕을 토출하는, 아몰퍼스 합금 박대의 제조 방법.
청구항 3
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 아몰퍼스 합금 박대를 제조하는 공정은, 상기 합금 용탕을 10㎪~30㎪의 토출
압력으로 토출하는, 아몰퍼스 합금 박대의 제조 방법.
청구항 4
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 용탕 유로의 벽면 중 상기 합금 용탕의 유통 방향 및 상기 개
구부의 장변 방향에 대해 평행한 면 s의 최대 높이 Rz(s)가 60.0㎛ 이하인, 아몰퍼스 합금 박대의 제조 방법.
청구항 5
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 용탕 유로의 벽면 중 상기 합금 용탕의 유통 방향 및 상기 개
구부의 장변 방향에 대해 평행한 면 s의 최대 높이 Rz(s)가 20.0㎛~60.0㎛인, 아몰퍼스 합금 박대의 제조 방법.
청구항 6
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 개구부의 장변의 길이가 100㎜~300㎜인, 아몰퍼스 합금 박대의
제조 방법.
청구항 7
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 개구부의 단변의 길이가 0.1㎜~1.0㎜인, 아몰퍼스 합금 박대의
제조 방법.
청구항 8
박대의 폭 방향 단부에 있어서, 박대의 길이 방향을 따라 측정된 길이가 1㎜ 이상인 보풀이, 박대의 길이 방향
의 길이 1m당 1개 이하인, 아몰퍼스 합금 박대.
청구항 9
제8항에 있어서, 단롤법에 의해 제조된, 아몰퍼스 합금 박대.
청구항 10
제8항 또는 제9항에 있어서, 두께가 10㎛~40㎛이고, 폭이 100㎜~300㎜인, 아몰퍼스 합금 박대.
명 세 서
기 술 분 야
본 발명은 아몰퍼스 합금 박대 및 그 제조 방법에 관한 것이다.[0001]
공개특허 10-2014-0138789
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배 경 기 술
자심이나 자기 실드재 등에 사용되는 아몰퍼스 합금 박대를 제조하기 위한 제조 방법으로서는, 액체 급냉법이[0002]
널리 알려져 있다. 액체 급냉법에는, 단롤법(예를 들어, 일본 특허 제3494371호 공보 참조), 쌍롤법(예를
들어, 일본 특허 공개 평3-18459호 공보 참조), 원심법 등이 있지만, 생산성이나 유지 보수성에서 고려하면, 회
전하는 하나의 냉각 롤의 표면에 용탕 노즐로부터 합금 용탕을 공급하고, 급냉 응고시켜 아몰퍼스 합금 박대를
얻는 단롤법이 우수하다.
단롤법에서는, 냉각 롤 표면과 용탕 노즐에서 합금 용탕에 의한 탕 저류부(「패들」이라고도 불리고 있음)을 형[0003]
성하면서 박대를 제조하는 것이 행하여지고 있고, 이에 의해 광폭의 박대를 적합하게 제작할 수 있다.
발명의 내용
해결하려는 과제
그런데, 예를 들어 단롤법에 의해 제조된 아몰퍼스 합금 박대에서는, 박대의 폭 방향 단부가 매끄러운 형상으로[0004]
는 되지 않고, 상기 단부가 톱형상으로 보풀이 인 형상으로 되는 경향이 있다(예를 들어, 도 5 참조). 이 톱형
상으로 보풀이 인 형상에 포함되는 돌출 부분 중 1개(톱의 이 1개에 상당하는 부분)를, 본 발명에서는 「보풀」
(feather)이라고 한다. 아몰퍼스 합금 박대는 열처리에 의해 취화되기 쉬운 경향이 있으므로, 폭 방향 단부에
보풀(특히, 박대의 길이 방향을 따라 측정된 길이가 1㎜ 이상인 보풀)이 발생하면, 보풀의 탈락이 문제가 되는
경우가 있다. 보풀이 탈락하면, 아몰퍼스 합금 박대를, 예를 들어 변압기 등의 자심으로서 사용했을 때, 탈락
된 보풀이 전기적 단락을 야기하여, 자심의 손실이 증대하고, 최악의 경우에는, 변압기가 손상된다.
상기 보풀의 탈락이라는 문제에 관하여, 기존에는, 아몰퍼스 합금 박대를 적층하여 자심을 제작하고, 계속해서[0005]
열처리한 후, 상기 보풀이 탈락하지 않도록 신중하게 아몰퍼스 합금 박대의 폭 방향 단부를 에폭시 수지 등으로
피복함으로써, 후속 공정인 트랜스 조립 공정 등에 있어서의 보풀의 탈락을 억제하고 있다.
그러나, 보풀의 탈락을 억제하는 방법으로서는, 보풀의 발생 자체를 억제한다는, 보다 근본적인 방법이 요구되[0006]
고 있다.
따라서, 본 발명의 과제는, 박대의 폭 방향 단부에 있어서의 보풀의 발생이 억제되어, 열처리 후의 보풀의 탈락[0007]
을 억제할 수 있는 아몰퍼스 합금 박대의 제조 방법을 제공하는 것이다. 또한, 본 발명의 과제는, 열처리 후의
보풀의 탈락을 억제할 수 있는 아몰퍼스 합금 박대를 제공하는 것이다.
과제의 해결 수단
상기 과제를 해결하기 위한 구체적 수단은 이하와 같다.[0008]
<1> 합금 용탕이 유통하는 용탕 유로를 갖고 상기 용탕 유로의 일단부가 직사각형의 개구부인 용탕 노즐의 상기[0009]
개구부로부터, 회전하는 냉각 롤의 표면에 상기 합금 용탕을 토출하여 아몰퍼스 합금 박대를 제조하는 공정을
갖고, 상기 용탕 유로의 벽면 중 상기 합금 용탕의 유통 방향 및 상기 개구부의 단변 방향에 대해 평행한 면 t
의 최대 높이 Rz(t)가 10.5㎛ 이하인 아몰퍼스 합금 박대의 제조 방법이다.
<2> 상기 아몰퍼스 합금 박대를 제조하는 공정은, 주속 10m/s∼40m/s로 회전하는 상기 냉각 롤의 표면에 상기[0010]
합금 용탕을 토출하는 <1>에 기재된 아몰퍼스 합금 박대의 제조 방법이다.
<3> 상기 아몰퍼스 합금 박대를 제조하는 공정은, 상기 합금 용탕을 10㎪∼30㎪의 토출 압력으로 토출하는 <1>[0011]
또는 <2>에 기재된 아몰퍼스 합금 박대의 제조 방법이다.
<4> 상기 용탕 유로의 벽면 중 상기 합금 용탕의 유통 방향 및 상기 개구부의 장변 방향에 대해 평행한 면 s의[0012]
최대 높이 Rz(s)가 60.0㎛ 이하인 <1>∼<3> 중 어느 하나에 기재된 아몰퍼스 합금 박대의 제조 방법이다.
<5> 상기 용탕 유로의 벽면 중 상기 합금 용탕의 유통 방향 및 상기 개구부의 장변 방향에 대해 평행한 면 s의[0013]
최대 높이 Rz(s)가 20.0㎛∼60.0㎛인 <1>∼<4> 중 어느 하나에 기재된 아몰퍼스 합금 박대의 제조 방법이다.
<6> 상기 개구부의 장변의 길이가 100㎜∼300㎜인 <1>∼<5> 중 어느 하나에 기재된 아몰퍼스 합금 박대의 제조[0014]
방법이다.
<7> 상기 개구부의 단변의 길이가 0.1㎜∼1.0㎜인 <1>∼<6> 중 어느 하나에 기재된 아몰퍼스 합금 박대의 제조[0015]
공개특허 10-2014-0138789
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방법이다.
<8> 박대의 폭 방향 단부에 있어서, 박대의 길이 방향을 따라 측정된 길이가 1㎜ 이상인 보풀이, 박대의 길이[0016]
방향의 길이 1m당 1개 이하인 아몰퍼스 합금 박대이다.
<9> 단롤법에 의해 제조된 <8>에 기재된 아몰퍼스 합금 박대이다.[0017]
<10> 두께가 10㎛∼40㎛이고, 폭이 100㎜∼300㎜인 <8> 또는 <9>에 기재된 아몰퍼스 합금 박대이다.[0018]
발명의 효과
본 발명에 따르면, 박대의 폭 방향 단부에 있어서의 보풀의 발생이 억제되어, 열처리 후의 보풀의 탈락을 억제[0019]
할 수 있는 아몰퍼스 합금 박대의 제조 방법을 제공할 수 있다. 또한, 본 발명에 따르면, 열처리 후의 보풀의
탈락을 억제할 수 있는 아몰퍼스 합금 박대를 제공할 수 있다.
도면의 간단한 설명
도 1은 본 발명의 아몰퍼스 합금 박대의 제조 방법에 적합한 아몰퍼스 합금 박대 제조 장치의 일 실시 형태를[0020]
개념적으로 도시하는 개략 단면도이다.
도 2는 도 1에 도시한 아몰퍼스 합금 박대 제조 장치에 있어서의 용탕 노즐의 사시도이다.
도 3은 도 2의 A-A선 단면도이다.
도 4는 실시예 1의 아몰퍼스 합금 박대의 단부를 촬영한 광학 현미경 사진이다.
도 5는 비교예 1의 아몰퍼스 합금 박대의 단부를 촬영한 광학 현미경 사진이다.
발명을 실시하기 위한 구체적인 내용
이하, 본 발명의 아몰퍼스 합금 박대의 제조 방법 및 아몰퍼스 합금 박대에 대해 상세하게 설명한다.[0021]
<아몰퍼스 합금 박대의 제조 방법>[0022]
본 발명의 아몰퍼스 합금 박대(이하, 간단히 「박대」라고도 함)의 제조 방법은, 합금 용탕이 유통하는 용탕 유[0023]
로를 갖고 상기 용탕 유로의 일단부가 직사각형인 개구부[예를 들어, 후술하는 도 2 중의 개구부(11)]인 용탕
노즐의 상기 개구부로부터, 회전하는 냉각 롤의 표면에 상기 합금 용탕을 토출하여 아몰퍼스 합금 박대를 제조
하는 공정을 갖고, 상기 용탕 유로의 벽면 중 상기 합금 용탕의 유통 방향 및 상기 개구부의 단변 방향에 대해
평행한 면 t(예를 들어, 후술하는 도 2 및 도 3 중의 면 t)의 최대 높이 Rz(t)가 10.5㎛ 이하이다.
본 명세서 중에 있어서 표면 거칠기(최대 높이 Rz 및 후술하는 산술 평균 거칠기 Ra)는 JIS B 0601(2001)에 준[0024]
거하여 측정된 표면 거칠기를 가리킨다.
또한, 본 명세서 중에 있어서의 표면 거칠기(최대 높이 Rz 및 후술하는 산술 평균 거칠기 Ra)는 합금 용탕의 유[0025]
통 방향(예를 들어, 도 2 중에서는 화살표 Q의 방향)을 따라 측정된 값을 가리킨다.
종래의 아몰퍼스 합금 박대의 제조 방법에 의해 제조된 박대는, 폭 방향 단부가 매끄러운 형상으로는 되지[0026]
않고, 폭 방향 단부에 보풀(feather)이 발생하고 있었다. 아몰퍼스 합금 박대는 열처리에 의해 취화되기 쉬운
경향이 있으므로, 폭 방향 단부에 보풀(특히, 박대의 길이 방향을 따라 측정된 길이가 1㎜ 이상인 보풀)이 발생
하면, 열 처리 후에 보풀의 탈락이 문제가 되는 경우가 있다.
본 명세서 중에서는, 박대의 길이 방향을 따라 측정된 길이가 1㎜ 이상인 보풀을 간단히 「길이 1㎜ 이상인 보[0027]
풀」이라고도 한다.
상기 종래의 기술에 대해, 본 발명의 아몰퍼스 합금 박대의 제조 방법에 따르면, 박대의 폭 방향 단부에 있어서[0028]
의 보풀(특히, 길이 1㎜ 이상인 보풀)의 발생을 억제할 수 있으므로, 열처리 후의 보풀의 탈락을 억제할 수 있
다.
여기서, 보풀 및 보풀의 길이에 대해, 도 5를 참조하면서 설명한다.[0029]
도 5는 후술하는 비교예 1의 아몰퍼스 합금 박대의 단부를 촬영한 광학 현미경 사진이다.[0030]
도 5 중, 하측의 그레이 영역이 아몰퍼스 합금 박대이고, 상측의 검은 영역은 배경이다.[0031]
공개특허 10-2014-0138789
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도 5에 도시한 비교예 1의 아몰퍼스 합금 박대에서는, 단부에 3개의 보풀을 확인할 수 있다(도 5에서는, 3개의[0032]
보풀 중 중앙의 1개를 파선의 원으로 둘러싸고 있음).
도 5 중의 길이 L은, 보풀의, 박대의 길이 방향을 따른 길이를 나타내고 있다.[0033]
여기서, 박대의 길이 방향은 냉각 롤의 회전 방향(예를 들어, 도 1 중의 화살표 P)과 일치한다.[0034]
도 5에서는, 3개의 보풀 중 우측의 1개는, 박대의 길이 방향을 따라 측정된 길이가 1㎜ 이상으로 되어 있다.[0035]
즉, 이 우측의 1개는, 「길이 1㎜ 이상인 보풀」이다. 「길이 1㎜ 이상인 보풀」은 열 처리 후에 특히 탈락하
기 쉬우므로, 이와 같은 보풀의 발생을 억제하는 것이 요구된다.
본 발명의 제조 방법에 따르면, 특히, 이 「길이 1㎜ 이상인 보풀」의 발생을 억제할 수 있다[예를 들어, 후술[0036]
하는 도 4(실시예 1) 참조].
본 발명에 의해 보풀의 발생을 억제할 수 있는 상세한 이유는 명백하지는 않지만, 이하와 같이 추측된다.[0037]
즉, 합금 용탕을 용탕 노즐의 직사각형의 개구부로부터 회전하는 냉각 롤의 표면으로 토출하는 제조[0038]
방법에서는, 상술한 면 t의 근방의 합금 용탕의 흐름이 난류인 경우, 냉각 롤로의 합금 용탕의 공급이 안정되지
않아, 냉각 롤 표면에 형성되는 탕 저류부(패들)의 폭 방향 단부의 진동(구체적으로는, 냉각 롤의 축 방향에 대
한 진동)이 커진다고 생각된다. 그리고 탕 저류부의 폭 방향 단부가 진동하면서 냉각 롤이 회전함으로써, 상기
진동에 의해 외측으로 돌출되었을 때의 탕 저류부 단부가 회전 방향에 대해 반대 방향으로 늘어나, 보풀이 형성
되는 것으로 추측된다.
이 현상에 대해, 상기 면 t의 최대 높이 Rz(t)를 10.5㎛ 이하로 함으로써, 이 면 t의 근방의 합금 용탕의 흐름[0039]
이 층류로 되기 쉬워져, 그 결과, 냉각 롤로의 합금 용탕의 공급이 안정되고, 상술한 탕 저류부의 폭 방향 단부
의 진동이 억제되고, 나아가서는 보풀의 발생이 억제되는 것으로 생각된다.
즉, 본 발명자들은, 박대의 보풀 유무에는(후술하는 면 s의 거칠기의 영향과 비교해) 상기 면 t의 거칠기의 영[0040]
향이 크다는 내용을 발견하고, 또한, 이 면 t의 최대 높이 Rz(t)를 10.5㎛ 이하로 함으로써 보풀의 발생을 억제
할 수 있다는 내용을 발견하고, 이들 내용에 기초하여 본 발명을 완성시켰다.
상기 최대 높이 Rz(t)가 10.5㎛를 초과하는 경우에는, 보풀의 발생이 현저해진다. 이 이유는, 탕 저류부의 폭[0041]
방향 단부의 진동이 커지기 때문이라고 생각된다.
상기 최대 높이 Rz(t)는, 보풀의 발생을 보다 억제하는 관점에서는, 10.0㎛ 이하인 것이 바람직하다.[0042]
본 발명에 있어서, 상기 용탕 유로의 벽면 중 상기 합금 용탕의 유통 방향 및 상기 개구부의 장변 방향에 대해[0043]
평행한 면 s(예를 들어, 후술하는 도 2 및 도 3 중의 면 s)의 최대 높이 Rz(s)에는 특별히 한정은 없지만, 보풀
의 발생을 보다 억제하는 관점에서는, 60.0㎛ 이하인 것이 바람직하고, 50.0㎛ 이하인 것이 보다 바람직하다.
또한, 상기 Rz(s)가 60.0㎛ 이하이면, 상기 면 s로의 개재물(합금 용탕에 기인하는 석출물 등)의 부착을 보다[0044]
억제할 수 있어, 아몰퍼스 합금 박대를 보다 안정적으로 제조할 수 있다.
한편, 상기 Rz(s)는, 광범위하게 걸치는 Rz의 조정(연마 등)이 보다 용이해지는 관점에서, 20.0㎛ 이상이 바람[0045]
직하고, 30.0㎛ 이상이 보다 바람직하다.
또한, 상기 Rz(t) 및 상기 Rz(s)를 상기한 범위로 조정하는 방법에는 특별히 한정은 없고, 예를 들어 줄(예를[0046]
들어, 다이아몬드 줄)이나 브러시 등에 의한 연마 등의 방법을 사용할 수 있다. 가공성 및 공정 관리의 관점
등에서는 연마가 특히 적합하다.
이하, 본 발명의 아몰퍼스 합금 박대의 제조 방법의 일 실시 형태를 도 1∼도 3을 참조하면서 설명한다.[0047]
도 1은 본 발명의 아몰퍼스 합금 박대의 제조 방법에 적합한 아몰퍼스 합금 박대 제조 장치의 일 실시 형태를[0048]
개념적으로 도시하는 개략 단면도이다.
도 1에 도시하는 아몰퍼스 합금 박대 제조 장치(100)는 단롤법에 의한 아몰퍼스 합금 박대 제조 장치이다.[0049]
도 1에 도시한 바와 같이, 아몰퍼스 합금 박대 제조 장치(100)는 용탕 노즐(10)을 구비한 도가니(20)와, 그 표[0050]
면이 용탕 노즐(10)의 선단에 대향하는 냉각 롤(30)을 구비하고 있다. 도 1은 아몰퍼스 합금 박대 제조 장치
(100)를, 냉각 롤(30)의 축 방향 및 아몰퍼스 합금 박대(22C)의 폭 방향(이들 2개의 방향은 동일함)에 대해 수
직인 면으로 절단했을 때의 단면을 도시하고 있다.
공개특허 10-2014-0138789
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도가니(20)는, 아몰퍼스 합금 박대의 원료가 되는 합금 용탕(22A)을 수용할 수 있는 내부 공간을 갖고 있고, 이[0051]
중부 공간과 용탕 노즐(10)의 용탕 유로가 연통되어 있다. 이에 의해, 도가니(20) 내에 수용된 합금 용탕(22
A)을 용탕 노즐(10)에 의해 냉각 롤(30)에 토출할 수 있도록 되어 있다[도 1 및 도 2에서는, 합금 용탕(22A)의
토출 방향 및 유통 방향을 화살표 Q로 나타내고 있음]. 또한, 도가니(20) 및 용탕 노즐(10)은 일체로 구성된
것이어도 되고, 별체로서 구성된 것이어도 된다.
도가니(20) 주위의 적어도 일부에는, 가열 수단으로서의 고주파 코일(40)이 배치되어 있다. 이에 의해, 아몰퍼[0052]
스 합금 박대의 모합금이 수용된 상태의 도가니(20)를 가열하여 도가니(20) 내에서 합금 용탕(22A)을 생성하거
나, 외부로부터 도가니(20)에 공급된 합금 용탕(22A)의 액체 상태를 유지할 수 있도록 되어 있다.
용탕 노즐(10)의 선단과 냉각 롤(30)의 표면의 거리(이하, 「갭」이라고도 함)는, 용탕 노즐(10)에 의해 합금[0053]
용탕(22A)을 토출했을 때, 합금 용탕(22A)에 의한 탕 저류부(22B)가 형성될 정도로 근접되어 있다.
이 거리는, 단롤법에 있어서 통상 설정되는 범위로 할 수 있지만, 500㎛ 이하가 바람직하고, 300㎛ 이하가 보다[0054]
바람직하다.
또한, 이 거리는, 용탕 노즐(10)의 선단과 냉각 롤(30)의 표면의 접촉을 억제하는 관점에서는, 50㎛ 이상인 것[0055]
이 바람직하다.
냉각 롤(30)은 화살표 P의 방향으로 축 회전할 수 있도록 구성되어 있다.[0056]
냉각 롤(30)의 내부에는 물 등의 냉각 매체가 유통되어 있고, 이에 의해, 냉각 롤(30)의 표면에 부여(토출)된[0057]
합금 용탕(22A)을 냉각하여 아몰퍼스 합금 박대(22C)를 생성할 수 있도록 되어 있다.
냉각 롤(30)의 축 방향 길이는, 제조하는 아몰퍼스 합금 박대의 폭(후술하는 노즐의 개구부의 장변의 길이)보다[0058]
도 길면 특별히 한정은 없다.
냉각 롤(30)의 직경은, 냉각능의 관점에서, 200㎜ 이상이 바람직하고, 300㎜ 이상이 보다 바람직하다. 한편,[0059]
이 직경은, 냉각능의 관점에서, 700㎜ 이하가 바람직하다.
냉각 롤(30)의 재질은 Cu, Cu 합금(Cu-Be 합금, Cu-Cr 합금, Cu-Zr 합금, Cu-Zn 합금, Cu-Sn 합금, Cu-Ti 합금[0060]
등)의 열전도성이 높은 재료가 바람직하다.
냉각 롤(30) 표면의 표면 거칠기에는 특별히 한정은 없지만, 전술한 탕 저류부 단부의 진동을 보다 억제하는 관[0061]
점에서는, 냉각 롤(30) 표면의 최대 높이(Rz)는 1.5㎛ 이하가 바람직하고, 1.0㎛ 이하가 보다 바람직하다.
마찬가지로, 탕 저류부 단부의 진동을 보다 억제하는 관점에서는, 냉각 롤(30) 표면의 산술 평균 거칠기(Ra)는[0062]
0.5㎛ 이하가 바람직하다.
그 외에, 냉각 롤(30)로서는, 단롤법에 있어서 통상 사용되는 냉각 롤을 사용할 수 있다.[0063]
냉각 롤(30)의 표면의 근방[용탕 노즐(10)보다도 냉각 롤(30)의 회전 방향에 대한 하류측]에는, 박리 가스 노즐[0064]
(50)이 배치되어 있다. 이에 의해, 냉각 롤(30)의 회전 방향(화살표 P)과는 역방향(도 1 중의 파선의 화살표
방향)으로 박리 가스(예를 들어, 질소 가스나 압축 공기 등의 고압 가스)를 분사함으로써, 냉각 롤(30)로부터의
아몰퍼스 합금 박대(22C)의 박리가 보다 효율적으로 행하여진다.
아몰퍼스 합금 박대 제조 장치(100)는, 상술한 구성 이외의 기타의 구성[예를 들어, 제조된 아몰퍼스 합금 박대[0065]
(22C)를 권취하는 권취 롤, 합금 용탕에 의한 탕 저류부(22B) 또는 그 근방에 CO2 가스나 N2 가스 등을 분사하는
가스 노즐 등]을 구비하고 있어도 된다.
그 밖에, 아몰퍼스 합금 박대 제조 장치(100)의 기본적인 구성은 종래의 단롤법에 의한 아몰퍼스 합금 박대 제[0066]
조 장치(예를 들어, 일본 특허 제3494371호 공보, 일본 특허 제3594123호 공보, 일본 특허 제4244123호 공보,
일본 특허 제4529106호 공보 등 참조)와 동일한 구성으로 할 수 있다.
도 2는 도 1에 도시한 아몰퍼스 합금 박대 제조 장치(100)에 있어서의 용탕 노즐(10)의 사시도이고, 도 3은 도[0067]
2의 A-A선 단면도이다.
도 3에 도시한 바와 같이, 용탕 노즐(10)은 합금 용탕을 유통시키는 용탕 유로 F를 갖고 있다. 이 용탕 유로 F[0068]
의 합금 용탕 유통 방향에 대한 일단부는, 합금 용탕을 토출하기 위한 직사각형(슬릿 형상)의 개구부(11)(도
2)로 되어 있다. 한편, 이 용탕 유로 F의 합금 용탕 유통 방향에 대한 타단부는, 도 1에 도시하는 도가니(20)
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의 내부 공간에 연통되어 있다.
또한, 용탕 유로 F를 합금 용탕의 유통 방향에 수직인 면으로 절단했을 때의 단면(도 3)도, 상기 개구부(11)(도[0069]
2)와 동일한 직사각형(슬릿 형상)으로 되어 있다. 즉, 용탕 유로 F는 직사각형의 개구부(개구단부)를 갖는 각
기둥 형상 공간으로 되어 있다.
상기 개구부(11)의 장변의 길이는 제조되는 아몰퍼스 합금 박대의 폭에 대응하는 길이로 되어 있다. 상기 개구[0070]
부(11)의 장변의 길이로서는, 100㎜ 이상이 바람직하고, 125㎜ 이상이 보다 바람직하다. 한편, 이 장변의 길이
는 300㎜ 이하가 바람직하다.
또한, 상기 개구부(11)의 단변의 길이는, 일반적인 주조 조건(속도, 갭, 토출 압력)에 있어서, 아몰퍼스 합금[0071]
박대를 보다 안정적으로 제조하는 관점에서, 0.1㎜ 이상이 바람직하고, 0.4㎜ 이상이 보다 바람직하다. 동일한
관점에 의해, 이 단변의 길이는 1.0㎜ 이하가 바람직하고, 0.7㎜ 이하가 보다 바람직하다.
용탕 노즐(10)의 재질은, 내열충격성의 관점에서, 질화규소, 사이알론, 알루미나-지르코니아, 지르콘 등이 바람[0072]
직하다.
또한, 용탕 유로 F의 유로 길이(용탕 유로 F의 합금 용탕 유통 방향에 대한 길이)는, 용탕 정류화의 관점에서,[0073]
30㎜ 이하가 바람직하고, 20㎜ 이하가 보다 바람직하다.
본 실시 형태에 있어서 용탕 유로 F의 벽면 중, 면 t의 최대 높이[Rz(t)]의 범위는 전술한 바와 같고, 바람직한[0074]
범위도 전술한 바와 같다. 면 s의 최대 높이[Rz(s)]의 바람직한 범위도 전술한 바와 같다.
다음에, 도 1로 돌아가서, 아몰퍼스 합금 박대 제조 장치(100)를 사용한 아몰퍼스 합금 박대(22C)의 제조의 일[0075]
례에 대해 설명한다.
우선, 도가니(20)에 모합금을 수용하고, 모합금을 고주파 코일(40)에 의한 고주파 유도 가열에 의해 용해시켜[0076]
합금 용탕(22A)을 생성한다. 이때의 합금 용탕(22A)의 온도에는 특별히 한정은 없지만, 합금 용탕(22A)에 기인
하는 석출물이 용탕 노즐의 벽면에 부착되는 것을 억제하는 관점에서, 모합금의 융점 +50℃ 이상인 것이 바람
직하다. 또한, 합금 용탕(22A)의 온도는, 냉각 롤(30) 표면과의 접촉면측에 발생하는 에어 포켓의 생성을 억제
하는 관점에서, 모합금의 융점 +250℃ 이하인 것이 바람직하다.
다음에, 화살표 P의 방향으로 회전하는 냉각 롤(30) 표면에, 용탕 노즐(10)에 의해 합금 용탕을 토출하여 탕 저[0077]
류부(22B)를 형성하면서 상기 냉각 롤(30) 표면에 상기 합금 용탕에 의한 도막을 형성함과 함께, 이 도막을 냉
각하여 아몰퍼스 합금 박대(22C)로 한다. 다음에, 각 롤(30)의 표면에 형성된 아몰퍼스 합금 박대(22C)를, 박
리 가스 노즐(50)로부터의 박리 가스의 분사에 의해 냉각 롤(30)의 표면으로부터 박리하고, 도시하지 않은 권취
롤에 의해 롤 형상으로 권취하여 회수한다.
합금 용탕의 토출로부터 아몰퍼스 합금 박대의 권취(회수)까지의 조작은 연속적으로 행해지고, 이에 의해, 예를[0078]
들어 길이 방향의 길이가 3000m 이상의 긴 형상의 아몰퍼스 합금 박대를 얻을 수 있다.
이때의 합금 용탕의 토출 압력은 10㎪ 이상이 바람직하고, 15㎪ 이상이 보다 바람직하다. 한편, 이 토출 압력[0079]
은 30㎪ 이하가 바람직하고, 25㎪ 이하가 보다 바람직하다.
토출 압력이 상술한 바람직한 범위이면, 본 발명에 의한 보풀 저감의 효과[즉, Rz(t)를 10.5㎛ 이하로 한 것에[0080]
의한 보풀 저감의 효과;이하 동일함]를 보다 현저하게 얻을 수 있다.
또한, 냉각 롤(30)의 회전 속도는 단롤법에 있어서 통상 설정되는 범위로 할 수 있지만, 주속 40m/s 이하가 바[0081]
람직하고, 주속 30m/s 이하가 보다 바람직하다. 한편, 이 회전 속도는 주속 10m/s 이상이 바람직하고, 주속
20m/s 이상이 보다 바람직하다.
회전 속도가 상술한 바람직한 범위이면, 본 발명에 의한 보풀 저감의 효과를 보다 현저하게 얻을 수 있다.[0082]
또한, 냉각 롤(30) 표면의 온도는, 냉각 롤(30) 표면으로의 합금 용탕의 공급이 개시된 후 5초 이상 경과한 후[0083]
에 있어서, 80℃ 이상이 바람직하고, 100℃ 이상이 보다 바람직하다. 한편, 이 온도는 300℃ 이하가 바람직하
고, 250℃ 이하가 보다 바람직하다.
냉각 롤(30)에 의한 합금 용탕의 냉각 속도는, 1×10
5
℃/s 이상이 바람직하고, 1×10
6
℃/s 이상이 보다 바람직하[0084]
다.
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본 제조 방법에 있어서, 모합금 및 합금 용탕의 조성에는 특별히 제한은 없고, 제조하는 아몰퍼스 합금 박대의[0085]
조성에 따라 적절히 선택할 수 있다. 아몰퍼스 합금 박대의 조성예에 대해서는 후술한다.
이상에서 설명한 본 발명의 아몰퍼스 합금 박대의 제조 방법은, 특히, 하기의 아몰퍼스 합금 박대를 제조하는[0086]
방법으로서 적합하다.
<아몰퍼스 합금 박대>[0087]
본 발명의 아몰퍼스 합금 박대는, 박대의 폭 방향 단부에 있어서, 박대의 길이 방향을 따라 측정된 길이가 1㎜[0088]
이상인 보풀(길이 1㎜ 이상인 보풀)이 박대의 길이 방향 길이 1m당 1개 이하이다.
본 발명에 있어서, 「(상기한) 보풀이, 박대의 길이 방향 길이 1m당 1개 이하이다」라고 함은, 박대의 길이 방[0089]
향의 길이 1m분에 대해 상기 박대의 폭 방향 양단부를 관찰했을 때에(즉, 합계로 2m의 범위를 관찰했을 때에),
상기한 보풀의 개수 합계가 1개 이하인 것을 가리킨다.
본 발명자의 검토에 의해, 길이 1㎜ 이상인 보풀은, 열처리(예를 들어, 자장 중에 있어서의 열처리)에 의해 아[0090]
몰퍼스 합금이 취화되었을 때에 특히 탈락하기 쉬운 것이 판명되었다. 특히, 길이 1㎜ 이상인 보풀의 개수가
박대의 길이 방향 길이 1m당 1개를 초과하면, 열처리에 의해 취화된 보풀의 탈락이 현저해지는 것이
판명되었다. 또한, 이 보풀의 개수를, 박대의 길이 방향 길이 1m당 1개 이하로 조정함으로써 열처리에 의해 취
화된 보풀의 탈락이 현저하게 저감되는 것을 알수 있었다.
따라서, 본 발명의 아몰퍼스 합금 박대에 따르면, 열처리에 의해 취화된 보풀의 탈락이 억제된다.[0091]
상기 길이 1㎜ 이상인 보풀은, 박대의 길이 방향 길이 1m당 0개인 것(즉, 박대의 길이 방향 길이 1m당, 길이 1[0092]
㎜ 이상인 보풀이 존재하지 않는 것)이 특히 바람직하다.
또한, 본 발명의 아몰퍼스 합금 박대의 폭에는 특별히 한정은 없지만, 아몰퍼스 합금 박대의 실용성의[0093]
관점에서, 100㎜ 이상이 바람직하고, 125㎜ 이상이 보다 바람직하다.
한편, 본 발명의 아몰퍼스 합금 박대의 폭은, 아몰퍼스 합금 박대 제조 장치의 생산성의 관점에서, 300㎜ 이하[0094]
가 바람직하다.
또한, 본 발명의 아몰퍼스 합금 박대의 두께(판 두께)에는 특별히 한정은 없지만, 기계적 강도를 보다 향상시키[0095]
는 관점에서, 10㎛ 이상이 바람직하고, 15㎛ 이상이 보다 바람직하고, 20㎛ 이상이 특히 바람직하다.
한편, 상기 두께는, 아몰퍼스상을 보다 안정적으로 얻는 관점에서, 40㎛ 이하가 바람직하고, 35㎛ 이하가 보다[0096]
바람직하고, 30㎛ 이하가 특히 바람직하다.
또한, 본 발명의 아몰퍼스 합금 박대는, 예를 들어 단롤법에 의해 제조된다.[0097]
특히, 전술한 본 발명의 제조 방법에 따르면, 본 발명의 아몰퍼스 합금 박대를 적합하게 제조할 수 있다.[0098]
본 발명의 아몰퍼스 합금 박대를 구성하는 아몰퍼스 합금(조성)에 대해서는 특별히 한정은 없지만, 예를 들어[0099]
Fe기 아몰퍼스 합금, Ni기 아몰퍼스 합금, CoCr기 아몰퍼스 합금 등을 들 수 있다.
여기서, Fe기 아몰퍼스 합금이라 함은, Fe을 주성분으로 하는 아몰퍼스 합금을 가리킨다.[0100]
또한, Ni기 아몰퍼스 합금이라 함은, Ni을 주성분으로 하는 아몰퍼스 합금을 가리킨다.[0101]
또한, CoCr기 아몰퍼스 합금이라 함은, Co 및 Cr을 주성분으로 하는 아몰퍼스 합금을 가리킨다.[0102]
또한, 「주성분」이라 함은, 함유 비율이 가장 높은 성분을 가리킨다.[0103]
상기 Fe기 아몰퍼스 합금의 조성으로서는, Fe을 50원자% 이상 포함하는 조성이 바람직하고, Fe을 60원자% 이[0104]
상 포함하는 조성이 보다 바람직하고, Fe을 70원자% 이상 포함하는 조성이 바람직하다.
또한, Si의 비율이 2∼25원자%이고, B의 비율이 2∼25원자%이고, 잔량부가 Fe 및 불가피적 불순물인 조성이[0105]
바람직하고, Si의 비율이 2∼22원자%이고, B의 비율이 5∼16원자%이고, 잔량부가 Fe 및 불가피적 불순물인 조
성이 보다 바람직하고, Si의 비율이 2∼10원자%이고, B의 비율이 10∼16원자%이고, 잔량부가 Fe 및 불가피적
불순물인 조성이 특히 바람직하다.
상기 Fe기 아몰퍼스 합금에 있어서의 상기 불가피적 불순물로서는, 예를 들어 C, Al, Cr, W, P, Mn, Zn, Ti, Cu[0106]
를 들 수 있다.
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상기 Fe기 아몰퍼스 합금에 있어서의 상기 불가피적 불순물의 함유량은 2원자% 미만이 바람직하고, 1원자% 이[0107]
하가 특히 바람직하다.
상기 Ni기 아몰퍼스 합금의 조성으로서는, Ni을 40원자% 이상 포함하는 조성이 바람직하고, Ni을 50원자% 이[0108]
상 포함하는 조성이 보다 바람직하고, Ni을 60원자% 이상 포함하는 조성이 특히 바람직하다.
상기 Ni기 아몰퍼스 합금의 조성으로서, 또한, Ni의 비율이 60∼80원자%이고, Si의 비율이 2∼15원자%이고, B[0109]
의 비율이 5∼15원자%이고, (또한 필요에 따라, Cr 2∼20원자%, Fe 2∼5원자%, W 2∼5원자%, 및 Co 15∼20
원자% 중 적어도 1개를 포함), 잔량부가 불가피적 불순물인 조성, Ni의 비율이 40∼70원자%이고, B의 비율이
15∼20원자%이고, Cr의 조성이 10∼15원자%이고, (또한 필요에 따라, Co 15∼20원자%, Fe 2∼5원자%, 및 Mo
2∼5원자% 중 적어도 1개를 포함), 잔량부가 불가피적 불순물인 조성, 또는 Ni의 비율이 60∼85원자%이고, P
의 비율이 15∼20원자%이고, (또한 필요에 따라, Cr 15∼20원자%를 포함), 잔량부가 불가피적 불순물인 조성
이 특히 바람직하다.
상기 Ni기 아몰퍼스 합금에 있어서의 상기 불가피적 불순물로서는, 예를 들어 C, Al, Mn, Zn, Ti, Cu를 들 수[0110]
있다.
상기 Ni기 아몰퍼스 합금에 있어서의 상기 불가피적 불순물의 함유량은 2원자% 미만이 바람직하고, 1원자% 이[0111]
하가 특히 바람직하다.
상기 CoCr기 아몰퍼스 합금의 조성으로서는, Co 및 Cr을 합계로 50원자% 이상 포함하는 조성이 바람직하고, Co[0112]
및 Cr을 합계로 60원자% 이상 포함하는 조성이 보다 바람직하다.
또한, 상기 CoCr기 아몰퍼스 합금에 있어서의 Co의 함유량은 30원자% 이상인 것이 바람직하고, 50원자% 이상[0113]
인 것이 보다 바람직하고, 60원자% 이상인 것이 특히 바람직하다.
또한, 상기 CoCr기 아몰퍼스 합금에 있어서의 Cr의 함유량은 10원자% 이상인 것이 바람직하고, 15원자% 이상[0114]
인 것이 보다 바람직하고, 20원자% 이상인 것이 특히 바람직하다.
상기 Co기 아몰퍼스 합금의 조성으로서, 또한, Co의 비율이 60∼80원자%이고, B의 비율이 5∼15원자%이고, Cr[0115]
의 비율이 15∼25원자%이고, (또한 필요에 따라 Si 2∼5원자% 포함), 잔량부가 불가피적 불순물인 조성, 또는
Co의 비율이 30∼60원자%이고, B의 비율이 5∼15원자%이고, Cr의 비율이 20∼40원자%이고, W의 비율이 5∼15
원자%이고, (또한 필요에 따라, Fe 2∼5원자%, Si 2∼5원자%, Ni 2∼5원자%, 및 C 2∼8원자% 중 적어도 1
개를 포함), 잔량부가 불가피적 불순물인 조성을 들 수 있다.
상기 CoCr기 아몰퍼스 합금에 있어서의 상기 불가피적 불순물로서는, 예를 들어 C, Al, P, Mn, Zn, Ti을 들 수[0116]
있다.
상기 CoCr기 아몰퍼스 합금에 있어서의 상기 불가피적 불순물의 함유량은 2원자% 미만이 바람직하고, 1원자%[0117]
이하가 특히 바람직하다.
하기 표 1에, 본 발명의 아몰퍼스 합금의 조성의 구체예를 나타낸다. 단, 본 발명은 이하의 구체예로 한정되는[0118]
일은 없다.
하기 표 1에 있어서, 「%」는원자%를 나타낸다. 또한, 비율이 2원자% 미만의 성분은 불가피적 불순물로 간[0119]
주하여 기재를 생략하고 있다. 또한, 불가피적 불순물을 제외한 성분의 비율의 합계를 100원자%로 했을 때의
비율을 나타내고 있다.
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표 1
[0120]
실시예 [0121]
이하에 실시예를 들어 본 발명을 구체적으로 설명하지만, 본 발명은 이들 실시예로 제한되는 것은 아니다.[0122]
[실시예 1][0123]
<아몰퍼스 합금 박대의 제작>[0124]
도 1에 도시한 아몰퍼스 합금 박대 제조 장치(100)와 동일한 구성의 아몰퍼스 합금 박대 제조 장치를 준비했다.[0125]
용탕 노즐 및 냉각 롤로서는, 이하의 용탕 노즐 및 냉각 롤을 준비했다.
-용탕 노즐- [0126]
· 재질 … 질화규소 [0127]
· 개구부의 사이즈 … 장변의 길이 142㎜×단변의 길이 0.6㎜[0128]
· 용탕 유로의 유로 길이 … 10㎜[0129]
· 용탕 유로의 벽면 최대 높이[Rz(s), Rz(t)]는 하기 표 2에 나타내는 값이 되도록 조정했다.[0130]
여기서, Rz(s) 및 Rz(t)는 JIS B 0601(2001)에 준거하여 측정했다. 이때, Rz(s) 및 Rz(t)는 합금 용탕의 유통[0131]
방향(예를 들어, 도 2 중의 화살표 Q의 방향)을 따라 측정했다.
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또한, 최대 높이의 조정은 용탕 유로의 벽면을 180번의 다이아몬드 줄을 사용하여 연마함으로써 행하였다. 이[0132]
때, 면적이 좁은 면 t에 대해서는, 합금 용탕의 유통 방향(예를 들어, 도 2 중의 화살표 Q의 방향)을 따라 연마
했다. 면적이 넓은 면 s에 대해서는, 연마의 방향을 특정하지 않고 남김없이 연마했다.
-냉각 롤- [0133]
· 재질 … Cu-Be 합금 [0134]
· 직경 … 400㎜[0135]
· 냉각 롤 표면의 최대 높이 Rz … 1.5㎛ 이하 [0136]
· 냉각 롤 표면의 산술 평균 거칠기 Ra … 0.3㎛ 이하[0137]
우선, 도가니 내에, Si의 비율이 9원자%이고, B의 비율이 11원자%이고, 잔량부가 Fe 및 불가피적 불순물을 포[0138]
함하는 조성의 잉곳(모합금)을 장입하고, 고주파 유도 가열에 의해 용해시켜 합금 용탕을 얻었다.
다음에, 이 합금 용탕을 상기 용탕 노즐로부터, 회전하는 냉각 롤 표면으로 토출하여, 급냉 응고시켜, 폭이 142[0139]
㎜이고 두께가 24㎛인 아몰퍼스 합금 박대를 4200㎏ 제작했다.
아몰퍼스 합금 박대의 상세한 제작 조건은 이하와 같이 했다.[0140]
· 합금 용탕의 토출 압력 … 20㎪[0141]
· 냉각 롤의 주속 … 25m/s[0142]
· 합금 용탕 온도 …1300℃(모합금의 융점은 1150℃)[0143]
· 용탕 노즐 선단과 냉각 롤 표면의 거리(갭) … 200㎛[0144]
· 냉각 온도(냉각 롤 표면으로의 합금 용탕의 공급이 개시된 후 5초 이상 경과한 후의 온도)[0145]
… 170℃
<보풀의 개수의 확인>[0146]
상기에서 얻어진 아몰퍼스 합금 박대의 길이 방향 길이 1m분에 대해, 폭 방향 양단부를 광학 현미경(배율 50[0147]
배)에 의해 관찰하고(관찰 범위는 양단부 합계로 2m), 박대의 길이 방향을 따라 측정된 길이가 1㎜ 이상인 보풀
(길이 1㎜ 이상인 보풀)의 개수를 확인했다.
상기에서 확인한 폭 방향 양단부에 있어서의 상기 보풀의 개수 합계를, 박대의 길이 방향 길이 1m당의 상기 보[0148]
풀의 개수(이하, 「개/m」로 표기하는 경우가 있음)로 했다. 예를 들어, 상기 폭 방향 양단부에 있어서의 상기
보풀의 개수 합계가 1개였던 경우에는, 그 아몰퍼스 합금 박대에 있어서의 상기 보풀의 개수는 「1개/m」로 했
다.
결과를 하기 표 2에 나타낸다.[0149]
[실시예 2∼3 및 비교예 1∼4][0150]
용탕 노즐의 용탕 유로의 벽면 최대 높이[Rz(s) 및 Rz(t)]를, 연마에 의해 하기 표 2에 나타낸 바와 같이 조정[0151]
한 것 이외는 실시예 1과 마찬가지로 하여 아몰퍼스 합금 박대를 제작하고, 실시예 1과 마찬가지로 하여 보풀의
개수를 확인했다.
결과를 하기 표 2에 나타낸다.[0152]
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표 2
[0153]
표 2에 나타낸 바와 같이, 길이 1㎜ 이상인 보풀의 개수는 Rz(s)가 아니고 Rz(t)에 의존하고 있었다. 보다 상[0154]
세하게는, Rz(t)를 10.5㎛ 이하로 함으로써, 길이 1㎜ 이상인 보풀을 1개/m 이하로 할 수 있었다.
또한, 상세한 측정은 생략했지만, 비교예 1∼4의 박대의 폭 방향 단부에는 길이 0.1㎜ 이상 1㎜ 미만의 보풀이[0155]
매우 많이 존재하고 있고, 이 단부가 톱형상으로 보풀이 일고 있었다(예를 들어, 하기 도 4 참조).
도 4는 실시예 1의 아몰퍼스 합금 박대의 단부를 나타내는 광학 현미경 사진이고, 도 5는 비교예 1의 아몰퍼스[0156]
합금 박대의 단부를 나타내는 광학 현미경 사진이다.
도 4 및 도 5 모두 하측의 그레이 영역이 아몰퍼스 합금 박대이고, 상측의 검은 영역이 배경이다.[0157]
도 4에 도시한 바와 같이, 실시예 1의 아몰퍼스 합금 박대는 폭 방향 단부가 극히 매끄러웠다(직선 형상). 이[0158]
에 대해, 비교예 1의 아몰퍼스 합금 박대는 폭 방향 단부가 톱형상으로 보풀이 일고 있고, 이 단부에는, 길이 1
㎜ 이상인 보풀 및 길이 0.1㎜ 이상 1㎜ 미만의 보풀을 포함한 다수의 보풀이 존재하고 있었다.
일본 특허 출원 제2012-058715호의 개시는 그 전체가 참조에 의해 본 명세서에 도입된다.[0159]
본 명세서에 기재된 모든 문헌, 특허 출원 및 기술 규격은 개개의 문헌, 특허 출원 및 기술 규격이 참조에 의해[0160]
도입되는 것이 구체적이고 또한 개별적으로 기재된 경우와 동일 정도로, 본 명세서 중에 참조에 의해 도입된다.
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